微细制造及微机电系统专业介绍

微细制造及微机电系统专业涉及多个学科领域，包括微电子、材料、力学、化学和机械学等，旨在研究和开发微小尺度的机电系统。

微细制造技术

微细制造技术是指在微米甚至纳米量级进行加工的技术。它包括多种方法，如光刻、腐蚀、薄膜沉积、LIGA技术、硅微加工和非硅微加工等。这些技术共同构成了微机电系统的制造基础。

微机电系统（MEMS）

微机电系统（MEMS）是指尺寸在几毫米乃至更小的高科技装置，其内部结构一般在微米甚至纳米量级。MEMS融合了多种技术，如微传感器、微执行器、微机械结构、微电源、信号处理和控制电路等，形成一个独立的智能系统。MEMS技术在高新技术产业中有着广泛应用，涉及超精密机械加工，涵盖微尺度下的力、电、光、磁、声、表面等物理、化学和机械学的各分支。

应用领域

MEMS技术广泛应用于多个领域，包括航空航天、精密仪器、生物医疗等。由于其能够在狭小空间内进行作业而不扰乱工作环境和对象，MEMS在高科技领域中具有重要的应用价值。例如，常见的MEMS产品包括加速度计、麦克风、马达、泵、光学传感器、压力传感器和陀螺仪等。