北京半导体专用设备研究所

中国电子科技集团公司电子科学研究院（简称电科院），成立于1984年，是由时任电子工业部部长江泽民同志规划成立的国家级科研机构。电科院主要从事电子信息技术发展战略研究、大型信息系统顶层设计、工程总体研发及综合集成，是中国电子科技集团公司的总体研究院和国家级科研事业单位。

电科院总部位于北京八大处高科技园区，科研办公总面积8.3万平方米，固定资产达12亿元。电科院在河北涞水规划建设中国电科电子科技园，在海南陵水规划建设中电科海洋信息技术产业基地。电科院现有职工2000余人，平均年龄不足35岁，本科及以上学历职工占比超过95%，其中中国工程院院士3人，博士435人，享受国务院政府特殊津贴专家15人。

北京半导体专用设备研究所（简称45所）是中国电子科技集团公司第四十五研究所，组建于1958年，位于北京经济技术开发区。45所是专业致力于电子元器件关键工艺技术、设备整机系统以及设备应用工艺研究、开发和生产制造的国家重点科研生产单位。45所现有职工1300余人，专业技术人员500余人，承担国家重大专项及各类科研项目40余项，取得各类科研成果400多项，国家专利456项。

45所的主要产品包括材料加工设备、电子封装设备、光学微细加工设备、丝网印刷设备、清洗甩干设备和图书装订设备等。其新的开发目标为化学机械抛光设备（CMP）。未来，45所将围绕光刻机、离子注入机、CMP、先进封装等集成电路核心装备业务，建设北京集成电路装备创新中心和产业基地，推动集成电路核心装备实现自主可控。